由于潔凈室樹(shù)立費(fèi)用很高且不同潔凈等級(jí)的樹(shù)立費(fèi)用相差較大，因而，在潔凈室設(shè)計(jì)過(guò)程中，設(shè)計(jì)師不只需要合理安置工藝設(shè)備以盡量削減潔凈區(qū)的面積，而且也要針對(duì)不同的消費(fèi)環(huán)節(jié)設(shè)置不同的潔凈等級(jí)。目前，12英寸集成電路芯片制作工廠普遍選用"開(kāi)放式潔凈室加微環(huán)境"的方法，將芯片制作過(guò)程中對(duì)空氣潔凈度懇求十分嚴(yán)厲的硅片加工過(guò)程安置在1級(jí)-4級(jí)的微環(huán)境裝置內(nèi)，而開(kāi)放式潔凈室的潔凈度等級(jí)只需5級(jí)-6級(jí)，這樣就有效地降低了樹(shù)立/運(yùn)營(yíng)出資以及能耗。潔凈廠房的建筑要求和施工標(biāo)準(zhǔn)：

1. 潔凈工程結(jié)構(gòu)材料

   （1）潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。門(mén)采用凈化密閉門(mén)，窗采用鋁合金玻璃固定窗。

   （2）地面采用環(huán)氧自流平或高級(jí)耐磨塑料潔凈地板。

   （3）凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。

   （4）高效送風(fēng)口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。

2. 2.技術(shù)參數(shù)換氣次數(shù)：十萬(wàn)級(jí)10-15次/小時(shí)；萬(wàn)級(jí)15-25次/小時(shí)；千級(jí)50-52次/小時(shí)；百級(jí)操作臺(tái)斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s；壓差：主車間對(duì)相鄰潔凈房間≧5Pa；潔凈房間對(duì)非潔凈區(qū)≧10Pa；溫度：冬季＞16度正負(fù)2度；夏季＜26度正負(fù)2度；

3. 潔凈廠房相對(duì)濕度：45-65%(RH)；噪音≦65dB(A)；新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20%-30%；照度：≧300Lux在我國(guó)，潔凈廠房的能源耗費(fèi)是相當(dāng)大的。能源耗費(fèi)首要用于消費(fèi)設(shè)備用電和用熱、凈化空調(diào)體系的耗電/耗熱和冷負(fù)荷、冷凍機(jī)組的耗電、排氣裝置的耗電和耗熱、超純水和氣體的制取和保送以及共用設(shè)備和照明的用電等。為抵達(dá)潔凈室懇求的空氣潔凈度等級(jí)，潔凈室的循環(huán)風(fēng)量很大。一般空調(diào)房間的每小時(shí)換氣次數(shù)只需求幾次，而潔凈室每小時(shí)換氣次數(shù)抵達(dá)10次~600次。

一個(gè)好的凈化工程，不僅有好的規(guī)劃布局、高的操作標(biāo)準(zhǔn)，更要有可靠的工程團(tuán)隊(duì)、高效的施工進(jìn)度。選擇專業(yè)的廠房裝修公司，經(jīng)費(fèi)就花對(duì)了一大半。

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